SanjSCOPE 高分辨率反射热成像仪

一

设备简介 

高分辨率反射热成像仪

SanjSCOPE

反射热成像仪通过测量发热器件对于特定波长光源的反射光强度，再根据“反射率-温度系数”曲线进行计算，从而获得器件表面温度分布。与红外热成像相比，反射热成像是有源检测，采用可见光作为光源，其温度空间分布测量精度提高到一个数量级，可以达到亚微米级别，而且测量过程不依赖材料的辐射系数。SanjSCOPE高分辨率反射热成像仪采用Lock-in 手段的反射率热成像技术，结合数字信号处理手段以及软件算法，实现亚微米级别微器件的高空间分辨率、高时间分辨率、高温度分辨率的热成像分析。

二

厂家型号

● SanjSCOPE LLC., NT220C

三

技术指标

● 空间分辨率：452nm；

● 瞬态时间分辨率：100ns；

● 有效热像素点：2048×2048；

● 探测器光谱范围365nm到800nm；

● 帧速率：30fps；

● 物镜放大倍数和数值孔径：

   物镜 5SVIS35，5×，NA =0.15

   物镜20SVIS22，20×，NA=0.4

   物镜100SVIS14，100×，NA=0.52；

● 热盘工作面积 125mm × 125mm, 散热功率500W

四

主要附件

● 探针台GPS-200，定标工具AFP-200

五

主要应用

● 主要应用于亚微米级别的热成像分析，如对半导体器件、微纳器件进行热分析，测试器件表面温度分布，分析器件的瞬态热成像过程